頂點(diǎn)光電子商城6月16日消息：近日，北京航天航空大學(xué)成功研制高靈敏度石墨烯MOEMS諧振壓力傳感器。
該傳感器表現(xiàn)出1.7Hz/Pa的高壓力靈敏度，比硅類的同類產(chǎn)品的靈敏度高5倍。采用陽極鍵合實(shí)現(xiàn)了10-3Pa的真空封裝，大大降低了壓力差下基底和石墨烯之間高空氣阻尼和氣體滲透造成的能量損失。
此外，全光封裝腔結(jié)構(gòu)有助于實(shí)現(xiàn)6.9x10-5 Pa-1的高信噪比和低溫度漂移(0.014%/C)。所提出的方法為使用二維材料作為敏感膜的壓力傳感器的長期穩(wěn)定性和能量損失抑制提供了一個很好的解決方案。
石墨烯MOEMS諧振壓力傳感器是利用石墨烯和微機(jī)械系統(tǒng)（MOEMS）技術(shù)結(jié)合而成的一種壓力傳感器。石墨烯是一種單層石墨的二維材料，具有高導(dǎo)電性、高強(qiáng)度、高柔性等特點(diǎn)，因此可以用于制作高靈敏度的傳感器。工作原理是利用微納加工技術(shù)制作出一種基于石墨烯膜的柔性微彈性諧振器，并利用它受到壓力變化時的諧振頻率發(fā)生變化的原理來測量壓力。由于石墨烯的高靈敏度，這種傳感器可以測量非常微小的壓力變化，例如幾千帕的氣體壓力變化。
石墨烯MOEMS諧振壓力傳感器具有響應(yīng)速度快、精度高、溫度穩(wěn)定、成本低廉等優(yōu)點(diǎn)，因此在工業(yè)自動化、醫(yī)療和航空等領(lǐng)域有很大的應(yīng)用潛力。它們可以用于測量氣體壓力、血壓、風(fēng)壓、液體壓力等多種壓力參數(shù)，為相關(guān)領(lǐng)域的研究和工業(yè)應(yīng)用提供支持。
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