頂點(diǎn)光電子商城2023年11月21日消息:近日,中導(dǎo)光電設(shè)備股份有限公司納米級(jí)圖形晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備(NanoPro-150)再次交付客戶。
納米級(jí)圖形晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備是一種用于檢測(cè)半導(dǎo)體前道圖形晶圓缺陷的高精度設(shè)備。這種設(shè)備利用光學(xué)原理對(duì)晶圓表面進(jìn)行檢測(cè),以發(fā)現(xiàn)并分析存在的缺陷。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,這種設(shè)備對(duì)于提高芯片制造的質(zhì)量和效率具有至關(guān)重要的作用。
具體來(lái)說(shuō),納米級(jí)圖形晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備通過(guò)高精度的光學(xué)系統(tǒng),對(duì)半導(dǎo)體晶圓的表面進(jìn)行掃描。當(dāng)光線照射到晶圓表面時(shí),如果表面存在缺陷,那么光線就會(huì)發(fā)生反射或散射,從而被檢測(cè)設(shè)備捕捉到。通過(guò)這種方式,檢測(cè)設(shè)備能夠發(fā)現(xiàn)并分析晶圓表面的各種缺陷,如顆粒、劃痕、凹坑等。
納米級(jí)圖形晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備具有高精度、高效率和高可靠性的特點(diǎn)。由于其采用了納米級(jí)別的檢測(cè)技術(shù),因此能夠檢測(cè)出微小的缺陷,這對(duì)于提高半導(dǎo)體芯片的質(zhì)量和性能具有重要意義。此外,這種設(shè)備還能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化檢測(cè),減輕了人工檢測(cè)的勞動(dòng)強(qiáng)度,提高了生產(chǎn)效率。
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,納米級(jí)圖形晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備是一種重要的質(zhì)量保證工具。它能夠有效地發(fā)現(xiàn)并分析半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷,從而保證了半導(dǎo)體芯片的質(zhì)量和性能。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,這種設(shè)備的技術(shù)水平和應(yīng)用范圍也在不斷進(jìn)步和擴(kuò)大。
中導(dǎo)光電設(shè)備股份有限公司是一家中國(guó)的高技術(shù)專業(yè)裝備公司,為平板顯示產(chǎn)業(yè)上游及下游制造產(chǎn)線提供先進(jìn)精密光學(xué)檢測(cè)主設(shè)備。該公司于2006年11月17日在肇慶市工商行政管理局登記成立,法定代表人為BO LI。公司的經(jīng)營(yíng)范圍包括研究、開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)、銷售各類液晶屏檢測(cè)設(shè)備等。