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SWIR與InGaAs圖像傳感器 索尼SWIR圖像傳感器

        全球著名大型綜合性跨國(guó)企業(yè)索尼研發(fā)了一款短波紅外(short-wavelength infrared,簡(jiǎn)稱SWIR)圖像傳感器。該圖像傳感器部署了5μm像素,創(chuàng)造了傳感器像素最小的記錄。另外,這款圖像傳感器還涵蓋了可見光光譜。


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短波紅外(SWIR)與砷化銦鎵(InGaAs)圖像傳感器


        SWIR從狹義上來分類,是指波長(zhǎng)為1.1-1.7μm的紅外光。從廣義上來分,擴(kuò)大為0.7-2.5μm的波長(zhǎng)范圍。由于硅基傳感器的波長(zhǎng)上限只能達(dá)到約1.0μm,所以,在SWIR范圍內(nèi)使用的傳感器,絕大部分都是銦鎵砷(InGaAs)圖像傳感器。


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濱松InGaAs線陣圖像傳感器


        InGaAs圖像傳感器可以覆蓋基本上所有的SWIR波段,甚至向下可以擴(kuò)展到550nm。銦鎵砷(InGaAs)圖像傳感器可以分為線陣和面陣兩種類型,其中,InGaAs面陣圖像傳感器受到由美國(guó)主導(dǎo)的國(guó)際武器貿(mào)易條例(ITAR)的限制,只能在獲得適當(dāng)許可的條件下,用于特定的商業(yè)用途。


短波紅外(SWIR)的特性


        為什么SWIR會(huì)有從廣義和狹義的兩個(gè)波長(zhǎng)分類呢?與SWIR相對(duì)應(yīng)的,還有MIR(中紅外)和LWIR(遠(yuǎn)紅外),所有物體本身都會(huì)輻射MIR和LWIR。這就是從廣義上的分類。


        從狹義上來講,波長(zhǎng)0.75μm-1.1 μm的紅外光,我們又習(xí)慣稱之為近紅外(Near Infrared,簡(jiǎn)稱NIR)。近紅外最大的應(yīng)用是夜視成像,利用周圍環(huán)境的星點(diǎn)光和背景輻射發(fā)出的近紅外光,進(jìn)行視覺成像。


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        SWIR具備很多可見光不擁有的特性。SWIR可以穿過煙霧、水蒸氣,甚至是硅基材料物體。很多在可見光環(huán)境下,肉眼無法區(qū)分的顏色,在SWIR設(shè)備下可以非常輕松的區(qū)分。


短波紅外(SWIR)的應(yīng)用范圍


        SWIR具有非常廣泛的應(yīng)用。結(jié)合熱成像相機(jī)來檢測(cè)某些范圍的紅外光,可以檢測(cè)體溫。根據(jù)SWIR在反射和吸收方面與其它可見光的不同特性,SWIR圖像傳感器可以將一些人眼無法識(shí)別的事物具象化,例如生產(chǎn)檢查、過程質(zhì)量控制、識(shí)別與排序、電子板檢查等。


索尼短波紅外(SWIR)圖像傳感器


        以往的圖像傳感器由于像素很大,尺寸的限制使得無法在傳感器中放置更多個(gè)像素,導(dǎo)致圖像質(zhì)量不高,還需要對(duì)生成的圖像進(jìn)行繁瑣的后期處理。索尼SWIR圖像傳感器成功將像素縮小到了5μm,成功的解決了這個(gè)問題。通過將像素小型化,索尼SWIR圖像傳感器能夠識(shí)別以前無法檢測(cè)到的極小損壞。


        另外,傳統(tǒng)圖像傳感器使用凸塊連接,例如使用金屬球?qū)⑾袼貎?nèi)的磷化銦層與硅層連接起來。為了減小像素尺寸,必須將金屬球精準(zhǔn)地對(duì)準(zhǔn)微米級(jí)的凸點(diǎn)間距,這操作以來本身就很困難,而且還造成了成本的上漲。


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        索尼采用銅-銅(Cu-Cu)連接的方法來解決這個(gè)問題。通過銅焊接盤來提供連續(xù)供電,可以在堆疊背照式CMOS 圖像傳感器(頂部芯片)和邏輯電路(底部芯片)時(shí),增加更多的設(shè)計(jì)自由度,同時(shí)還能在保證性能的前提下,為設(shè)計(jì)更緊湊的尺寸提供了可能。


        SWIR圖像傳感器集成了由InGaAs材料制成的光電二極管。由于InGaAs必然會(huì)帶有磷化銦 (InP)層,而磷化銦 (InP)層會(huì)阻擋可見光。索尼采用的銅-銅(Cu-Cu)連接方式可以降低磷化銦 (InP)層厚度,以達(dá)到可以讓可見光通過的程度。因此,索尼的SWIR圖像傳感器還可以在可見光下進(jìn)行成像。