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盛美半導(dǎo)體ECP設(shè)備系列累計(jì)出機(jī)500個(gè)電鍍腔

        頂點(diǎn)光電子商城2022年8月23消息:近日,盛美半導(dǎo)體宣布電化學(xué)電鍍(ECP)設(shè)備系列第500個(gè)電鍍腔出機(jī),順利交付客戶(hù)。


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        成立于1998年的盛美半導(dǎo)體,至今已有23年的發(fā)展歷史。成立之初,公司專(zhuān)注于開(kāi)發(fā)包括用于超低K材料和銅集成制造工藝的設(shè)備,致力于無(wú)應(yīng)力銅拋光技術(shù)的研發(fā)。


        至2005年時(shí),隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)線向國(guó)內(nèi)轉(zhuǎn)移,再疊加半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)需求明顯增加,上海市大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),盛美半導(dǎo)體便作為重點(diǎn)企業(yè)被引進(jìn)上海,盛美上海的前身盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司也由此成立。


        盛美半導(dǎo)體的第一臺(tái)SiN LPCVD已于2020年初交付給一家重要的邏輯制造商,并在該工廠進(jìn)行大規(guī)模量產(chǎn)驗(yàn)證;同時(shí),另一臺(tái)合金退火工藝立式爐設(shè)備已于2020年底交付給一家功率器件制造客戶(hù);其他相關(guān)設(shè)備的產(chǎn)品也陸續(xù)開(kāi)始在與客戶(hù)進(jìn)行測(cè)試。


         盛美上海的電鍍技術(shù)已通過(guò)半導(dǎo)體大廠的生產(chǎn)線工藝評(píng)估,應(yīng)用于55nm至28nm、TSV、高密度扇出封裝、常規(guī)Pillar、RDL產(chǎn)品生產(chǎn)線。截止至2021年12月,盛美電鍍?cè)O(shè)備銷(xiāo)售額占全球集成電路電鍍市場(chǎng)4%。


       盛美半導(dǎo)體覆蓋80%以上的清洗設(shè)備市場(chǎng)。據(jù)中銀證券數(shù)據(jù)顯示,在本土12英寸晶圓產(chǎn)線上僅有盛美上海持續(xù)獲得清洗設(shè)備的重復(fù)訂單,且盛美半導(dǎo)體清洗設(shè)備目前在國(guó)內(nèi)的市占率為23%,已成為了國(guó)內(nèi)清洗設(shè)備市場(chǎng)的龍頭企業(yè)。目前,盛美半導(dǎo)體的產(chǎn)品訂單已經(jīng)達(dá)到67臺(tái),銷(xiāo)售總額超過(guò)12億。